Die Implementierung von fokussierten Ionenstrahl-(FIB)-Instrumenten in Materialforschungslaboren im letzten Jahrzehnt hat nicht nur die Präparation sehr dünner Proben für das Transmissionselektronenmikroskop (TEM), insbesondere an Grenzflächen, erheblich verbessert, sondern auch zur Entwicklung neuer Analysemethoden direkt im Instrument selbst geführt. Es hat sich zu einem leistungsstarken Instrument für die Analyse hochradioaktiver Materialien entwickelt, da es die Herstellung und Untersuchung sehr kleiner Proben ermöglicht, die anschließend mit hochsensiblen Detektoren analysiert werden können, ohne dass es zu starken Störungen durch das Strahlungsfeld der Probe selbst kommt.